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在精密零件加工領域中所謂內應力，就是當外界載荷去掉后，仍殘留在工件內部的應力。內應力是工件在加工過程中其內部宏觀或微觀組織因發(fā)生了不均勻的體積變化而生產的。
具有內應力的零件處于一種不穩(wěn)定的相對平衡狀態(tài)，可以保持形狀精度的暫時穩(wěn)定。但它的內部組織有強烈的傾向要恢復到一種穩(wěn)定的沒有內應力的狀態(tài)，一旦外界條件產生變化，如環(huán)境溫度的改變、繼續(xù)進行切削加工、受到撞擊等，內應力的暫時平衡就會被打破而進行重新分布，零件將產生相應的變形，從而破壞原有的精度。

精密零件加工中為減小或消除內應力對零件加工精度的影響，在設計零件結構時，應盡量簡化結構，考慮壁厚均勻，以減少在鑄、鍛毛坯制造中產生的內應力，切削加工時，應將粗、精加工分開在不同的工序進行，是粗加工后有一定的間隔時間讓內應力重新分布，以減少對精加工的影響。