?超精密零件加工在尺寸精度、形狀精度、表面質(zhì)量等多個(gè)方面都有極其嚴(yán)格的要求，以下是具體介紹：
尺寸精度
公差范圍極?。撼芰慵某叽绻钔ǔ１豢刂圃谖⒚祝é蘭）甚至納米（nm）級別。例如，在航空航天領(lǐng)域，一些發(fā)動(dòng)機(jī)葉片的關(guān)鍵尺寸公差可能要求控制在 ±5μm 以內(nèi)；在半導(dǎo)體制造中，芯片制造所使用的光刻掩膜版的線條寬度公差可達(dá)到 ±10nm 左右。
一致性要求高：對于一批超精密零件，不僅單個(gè)零件要滿足高精度要求，而且零件之間的尺寸一致性也必須極高。以手機(jī)攝像頭中的微型光學(xué)鏡片為例，同一批次鏡片的直徑尺寸偏差要控制在極小范圍內(nèi)，否則會(huì)影響攝像頭的成像質(zhì)量。
形狀精度
平面度：要求零件的表面平整度極高，例如，精密光學(xué)平面鏡的平面度可能要求達(dá)到 λ/10 甚至更高（λ 為光的波長，通常取 632.8nm），即平面的起伏偏差在幾十納米以內(nèi)。
圓度：像航空發(fā)動(dòng)機(jī)的渦輪軸等關(guān)鍵零件，其圓度誤差通常要求控制在 0.001mm 以下，以確保在高速旋轉(zhuǎn)時(shí)的穩(wěn)定性和可靠性。
圓柱度：對于一些高精度的液壓油缸、氣動(dòng)元件等，圓柱度要求嚴(yán)格，可能在 0.002mm - 0.005mm 之間，以保證良好的密封性和運(yùn)動(dòng)精度。
位置精度
同軸度：在汽車發(fā)動(dòng)機(jī)的曲軸加工中，各軸頸的同軸度誤差一般要求控制在 0.02mm - 0.05mm 之間，否則會(huì)影響發(fā)動(dòng)機(jī)的動(dòng)力輸出和穩(wěn)定性。
垂直度與平行度：在精密模具制造中，模具的上下模板之間的平行度誤差通常要求控制在 0.05mm 以內(nèi)，以保證模具在合模時(shí)的精度，從而生產(chǎn)出高質(zhì)量的產(chǎn)品。
表面質(zhì)量
表面粗糙度：超精密零件的表面粗糙度一般要求達(dá)到 Ra0.1μm - Ra0.01μm 甚至更低。如硬盤的磁頭滑塊表面，為了減少與磁盤的摩擦和提高讀寫性能，表面粗糙度可能達(dá)到 Ra0.005μm 左右。
表面完整性：除了粗糙度外，還要求表面無微觀裂紋、劃痕、毛刺、氧化層等缺陷。例如在光學(xué)鏡片的加工中，表面任何微小的劃痕或裂紋都可能導(dǎo)致光線散射，影響光學(xué)性能。
材料性能一致性
微觀組織均勻性：零件材料的微觀組織如晶粒大小、相組成等要均勻一致。以高強(qiáng)度合金鋼制造的航空零部件為例，若材料微觀組織不均勻，會(huì)導(dǎo)致零件在受力時(shí)出現(xiàn)局部應(yīng)力集中，降低零件的整體性能和使用壽命。
性能穩(wěn)定性：材料的力學(xué)性能、物理性能等要穩(wěn)定。在電子元器件制造中，用于制造芯片的半導(dǎo)體材料，其電阻率、載流子遷移率等性能參數(shù)必須在嚴(yán)格的范圍內(nèi)，否則會(huì)影響芯片的性能和可靠性。
裝配精度
間隙配合精度：在機(jī)械手表的機(jī)芯裝配中，齒輪與軸之間的間隙配合精度通常要求控制在 0.01mm - 0.03mm 之間，以保證手表的走時(shí)精度。
過盈配合精度：在汽車發(fā)動(dòng)機(jī)的活塞與活塞銷裝配中，過盈量一般控制在 0.03mm - 0.05mm 之間，確?；钊c活塞銷之間既能傳遞動(dòng)力，又能在不同工況下保持良好的工作狀態(tài)。